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阿爾維勒半導體設備用伺服液壓站
簡要描述：阿爾維勒半導體設備用伺服液壓站利用伺服電機的可調(diào)轉(zhuǎn)速的特性:通過伺服驅(qū)動器改變伺服電機的轉(zhuǎn)速
訪問次數(shù)： 966
所屬分類：液壓油站
更新日期：2024-11-21
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
詳情介紹
阿爾維勒半導體設備用伺服液壓站,為在半導體封裝設備領域，和中科院通過技術合作，安全替代了奧地利EVG公司的氣液結(jié)合系統(tǒng)，在光刻納米壓沖技術領域里(N12)實現(xiàn)了技術上的突破和超越。為半導體芯片的制造提供均勻壓力的同時并將位移最高精度控制在0.75μm，保證了芯片可以發(fā)揮更好的性能和更優(yōu)的能耗，同時將液壓動力系統(tǒng)的噪音降至蕞低55dB(A) 。
是獨立的液壓裝置，它按驅(qū)動裝置(主機)要求供油，并控制油流的方向、壓力和流量，它適用于主機與液壓裝置可分離的各種液壓機械下，由電機帶動油泵旋轉(zhuǎn)，泵從油箱中吸油后打油，將機械能轉(zhuǎn)化為液壓油的壓力能。
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